SF₆氣體定量檢漏儀其原理為：空氣中含有的六氟化硫氣體濃度變化時，該混合氣體在高頻電磁場的作用下其電離的程度也將不同，通過檢測電離度即可反映六氟化硫濃度。

 儀器采用小型真空泵，探頭與主機為分體式。具有體積小、重量輕、攜帶方便、靈敏度高、穩定性好、響應速度快、探頭不會中毒、不產生有毒氣體等特點。并有液晶顯示氣體濃度，使儀器讀數更為方便準確。本儀器新增了報警設定功能，當被測氣體濃度大于或等于設定值時，即自行發出報警聲。

 本設備專用于于電力、鐵道、電器制造、化工、消防器材以及原子物理科研等部門對充有六氟化硫設備、容器進行檢漏，可以迅速、準確地定性和定量檢測。

 技術指標

 測量范圍（SF₆）： 0.01ppm～500ppm（體積比）  

 響應時間： 不大于3秒

 指示方式： 液晶數字顯示和聲、光訊號報警

 報警設定范圍： 0.01ppm～500ppm（體積比）  

 真空泵抽速： 1升/秒

 真空管道長度： 4米

 連續工作時間： 不大于4小時  

 工作條件 ： 交流電源 220V 50Hz 環境溫度 7℃-40℃ 

 功率：約180W